Um dos alumos de alto nível de alumínio

Um método de processo para interconexão de alumínio de fiação de várias camadas, um buraco atravésfio de alumínioInterconexão e um produto semicondutor, em que o método compreende: gravura nas costas de tungstênio em uma bolacha que formou um plugue de tungstênio no orifício de contato e removendo o tungstênio de metal fora do orifício de contato; O plugue de tungstênio descrito comunica a camada inferior de alumínio de metal; Sputtering uma camada de material condutor na superfície de uma bolacha gravada em back-gravizada de tungstênio; The upper layer of aluminum is routed on the surface of this conduction material layer. The structure of the aluminum wire interconnection vias includes: the lower metal aluminum, the tungsten plug, the metal titanium layer, and the upper metal aluminum. The step of adding the sputtering metal titanium layer after the tungsten back engraving step, due to the high step coverage rate of A camada de material de condução, como a camada de Ti de metal e a boa adesão entre o plugue do tungstênio e a camada superior do metal de alumínio, melhora a confiabilidade da interconexão de metal superior e inferior de alumínio, reduz efetivamente a resistência de contato das metais mais alumínio e mais baixa (e a resistência a »

1.Uma espécie de fio de alumínio machine steel nozzle used for semi-automatic aluminum wire bonding machine, that is, the aluminum wire machine steel nozzle used with the wire pipe, wire duct, blade and blade limit push rod, when the wire bonding process is bonded, the aluminum wire machine steel nozzle directly rubs and extrudes the aluminum wire to the chip, converts the electrical energy into the energy of mechanical energy, and transmits it to the aluminum wire through the contact aluminum wire end no bico de aço da máquina de arame de alumínio, para que o fio de alumínio e o chip sejam soldados juntos no cruzamento; Portanto, o bico de aço tem as características de alta precisão de ligação, forte resistência ao desgaste e superfície de contato ultra-suave; Ao mesmo tempo, o bico de aço tem as características de soldagem contínua de 200, 000 soldagem juntas por um longo tempo sem aderir ao alumínio, de modo a melhorar a eficiência da produção e prolongar a vida útil do serviço .

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