Nitreto de silício de metal de alto nível

Nitreto de silícioOs filmes finos têm estrutura densa, alta resistência e boa resistência ao desgaste e podem ser usados ​​como componentes estruturais nos dispositivos MEMS. O módulo e a dureza dos jovens dos filmes de nitreto de silício foram testados pelo método PECVD, e os efeitos da temperatura de deposição e razão de fluxo de gás de reação no módulo e dureza dos filmes dos jovens foram analisados. O filme de nitreto de silício foi usado como um feixe de suspensão para fabricar interruptores de RF MEMS.

1.Nitreto de silícioA cerâmica é uma cerâmica estrutural de alta temperatura e alta resistência, com amplas perspectivas de desenvolvimento. Possui alto desempenho (como alta resistência, boa estabilidade de choque térmico, alta resistência à fadiga, alta resistência à flexão à temperatura ambiente, resistência ao desgaste, resistência a oxidação, resistência à corrosão etc.) e tem sido amplamente utilizada em todas as esferas da vida. Os métodos de preparação do nitreto de silício incluem principalmente sinterização da reação (RS), sinterização por pressão quente (HPS), sinterização por pressão atmosférica (PLS) e sinterização por pressão pneumática (GPS). Atualmente, o principal problema é que os produtos de cerâmica de nitreto de silício têm baixa resistência e alto custo. No futuro, é necessário melhorar os processos de moagem, moldagem e sinterização e a composição de nitreto de silício e carboneto de silício para desenvolver melhores cerâmicas de nitreto de silício.

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