Metal de metal de alto nível 553

Um método de auto-alinhamento para a fabricação de Silicon Metal 553 is usado para formar uma estrutura de portão e uma região de origem/drenagem no substrato em sequência. Depois disso, a etapa de implantação de íons é realizada para implantar íons metálicos na superfície da estrutura da porta e a superfície da região de origem/drenagem. Em seguida, dois processos de tratamento térmico são realizados para silicificar os íons metálicos e o silício na superfície da estrutura da porta e a superfície da região de origem/drenagem, e formam uma camada de silicida metálica altamente condutiva na superfície da estrutura da porta e a superfície da região de origem/drenagem. Entre eles, os íons metálicos podem ser cobalto, titânio, níquel, platina ou paládio.

1.Um método para remover o boro emSilicon Metal 553na concha de transferência. Compreende: primeiro, o metal líquido de silício reduzido no forno submerso é transferido para a concha de transferência; Em seguida, o gás misto pré-aquecido é soprado no metal líquido de silício do fundo da concha de transferência, e o gás misto é composto de oxigênio de alta pureza, vapor de água, argônio; Após a reação completa e a remoção de impureza, o metal líquido de silício flui do fundo da concha de transferência e é fundido para obter metal de silício de alta pureza. A presente invenção sopra o oxigênio de alta pureza, o vapor de água e o gás misturado a gás do fundo da concha de transferência para o metal de silício no estado fundido, pré-aquecendo o oxigênio de alta pureza a alta temperatura, e o efeito da remoção de boro e fósforo As impurezas são óbvias, e a outra parte das impurezas é oxidada para gerar a substância fácil de jogar a ser levada pelo gás ou flutuando na superfície do metal líquido de silício, de modo que as impurezas no metal de silício sejam significativamente reduzidas. Comparado com outros métodos de remoção de boro, essa tecnologia possui vantagens econômicas óbvias, o que pode reduzir bastante o consumo de energia, reduz o processo de remoção de impureza e realizar a produção industrial de metal de silício de baixo custo e alta pureza.

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